二手 SAMCO UCP LFC 101 #293798827 待售

SAMCO UCP LFC 101是一種尖端等離子體蝕刻/灰化工具，設計用於半導體和微電子制造中的高性能蝕刻和清潔過程。這種多功能設備結合了先進技術，在材料去除和表面改造應用中提供了無與倫比的控制和精度。LFC 101提供了廣泛的功能,使其成為研究和開發實驗室、大學以及尋求在其過程中取得最佳結果的工業設施的重要解決方案。SAMCO UCP LFC 101配備了高頻等離子體源，產生適合各種蝕刻和灰化過程的低壓、高密度等離子體環境。該工具的腔室被設計成保持均勻的等離子體分布和溫度控制，確保在不同的基板上一致和可重現的結果。系統的自上而下的配置可以方便地加載和卸載樣品，方便快速周轉時間和高效操作。LFC 101的一個關鍵特點是其先進的工藝控制功能，使用戶能夠精確調整氣流、壓力、功率和溫度等關鍵參數，以達到所需的蝕刻或清潔效果。該工具與廣泛的氣體兼容，包括氧氣、氙氣、CF4、SF6和CHF3，允許針對不同的材料類型和應用進行靈活的工藝優化。此外,系統的軟件界面提供了對過程參數的直觀控制和監控,簡化了操作並提高了生產率。SAMCO UCP LFC 101能夠進行多種蝕刻工藝，包括反應性離子蝕刻（RIE）、深反應性離子蝕刻（DRIE）和各向同性蝕刻等。這些工藝能夠在矽、二氧化矽、氮化矽和金屬等基板上實現精確的模式轉移和材料去除。該工具具有很高的選擇性和各向異性控制功能,非常適合創建復雜的圖案、溝槽、通風和具有高長寬比和亞微米尺寸的特征。除了蝕刻，LFC 101還可以用於等離子體灰化過程，這涉及去除基板表面的有機汙染物和殘留物。工具的灰化功能對於在後續處理步驟（如沈積、光刻和粘合）之前確保表面清潔和均勻至關重要。通過有效去除有機汙染物，系統有助於提高設備制造工藝的質量和可靠性。總體而言,SAMCO UCP LFC 101是一款最先進的等離子體蝕刻/灰化工具,為各種半導體和微電子應用提供無與倫比的性能、精度和多功能性。該工具具有先進的工藝控制功能、與各種氣體的兼容性以及執行多種蝕刻和灰化工藝的能力,是研究和制造設施在材料加工和設備制造方面取得卓越成果的不可或缺的資產。