二手 SAMCO UV-300 #293757915 待售

SAMCO UV-300是由SAMCO Inc.開發的一種蝕刻器和灰化器，為微電子應用提供優越的表面制備。這種獨特的SAMCO UV 300型號利用高能紫外線從包括多層薄膜在內的各種表面去除氧化物和汙染物。UV-300設計有一個自動感應提升設備，以精確控制蝕刻過程，確保一致均勻的蝕刻深度。該系統采用直觀的LCD觸摸屏,采用ECD（電子控制顯示）功能,可準確設置和顯示處理時間,避免敏感基板過度蝕刻的可能性。UV 300還具有高達1.2 GPa的最大壓力能力，非常適合準備高溫和超低排空應用。SAMCO UV-300的性能優勢在於石英和氮化硼窗口的使用，這些窗口可保護暴露的部件，而其惰性使汙染最小化。SAMCO UV 300的附加特性包括基板汽化的可調溫度控制、42 cm x 42 cm的腔窗尺寸、減少單位熱負荷的可選水和氮冷卻、優化蝕刻均勻性的精確曝光周期計時以及10-3 Torr的真空。與HyperPrepTM蝕刻掩碼等標準模具附件相結合,UV-300提供了最佳的過程一致性和可重復性,同時確保了可靠的設備性能。蝕刻速率是瞬時的，因此不需要面膜清洗步驟，使用戶可以輕松實現高設備產量。UV 300的高功率允許更快的吞吐量，減少處理時間，同時保持高質量的結果。SAMCO UV-300是尋求可靠、高效機器的用戶的完美蝕刻解決方案。