二手 SCHMID Blue 1100 #9006876 待售
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ID: 9006876
晶圓大小: 6"
優質的: 2010
PECVD System
Direct plasma source
370-440 kHz
88 wafer per tray, 1100 wafer per hr (based on 6" wafer)
N2 SiH4, NH3 gases
Vacuum supply and gas supply system included
Abatement excluded
PLC controlled, including recipe management
Currently installed
2010 vintage.
SCHMID Blue 1100是一種化學蝕刻和灰化機,用於半導體制造。對於從4英寸晶圓、金屬和MEMS到先進的3-D模式的基板,它是一種高效、可靠和經濟高效的解決方案。該機配備了一種獨特的技術,稱為「智能芯片匹配」,允許芯片或設備之間完美搭配,實現更高的吞吐量和更好的收益率。Blue 1100采用全鋼框架,旨在實現最佳流量和最大性能。框架即使在高溫操作中也能確保穩定的配置,而且還設計用於易於維護。該室設計具有均勻蝕刻效果,並已獲準進行潔凈室操作,符合IEC 61672-3標準。它也經過測試,經受溫度範圍從-10°C到+54°C的調制。該機由先進的智能處理系統提供動力,設計用於高速處理,同時保持優異的產量。它裝有PID溫度控制器,使您能夠在更高的溫度下運行,並最大程度地減少溫度波動。它還具有各種輸入/輸出卡、熱打印機、用於快速熱循環的三向閥以及用於精密蝕刻和灰化的其他專用組件。該機具有先進的冷卻系統,允許最佳工藝溫度。此外,冷卻水設計貫穿整個腔室,確保基板在長工期和高溫下保持穩定。SCHMID Blue 1100還具有用於優化周期、提高精度和安全性的智能軟件。它還可以遠程操作,提供生產靈活性,用戶可以快速從一種類型的產品切換到另一種類型的產品。總體而言,Blue 1100是半導體生產的理想蝕刻器和asher。它功能豐富、堅固耐用,專為潔凈室操作而設計。它可以加工產量高得多、工藝可變少的大型基材晶片,從而實現高效、經濟高效的半導體生產。
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