二手 SCHMID Combi Line #9237969 待售

ID: 9237969
Substrate cleaning system Modul 3.
SCHMID Combi Line是一款高性能的蝕刻器/asher,可為所有相關微電子過程提供最大的靈活性和質量結果。為經濟高效地生產復雜的封裝設備(SiP)、高密度封裝(HDI)甚至復雜的PCB而開發的這種頂級設備能夠執行各種蝕刻和灰化應用。Combi Line有一個集成腔室系統,允許不同的進程同時在單獨的腔室中運行。這允許處理每個作業的多層,同時保持單個進程參數。利用擴散泵式腔室,蝕刻器提供了可擴展的吞吐量,具有適應單元的可調氧化和蝕刻速度,同時在整個運行過程中保持優異的效果。此外,集成真空傳感器可立即提供有關機器狀態的反饋,必要時可采取糾正措施。蝕刻器/asher配備了智能過程控制工具,通過其圖形用戶界面(GUI)進一步豐富了過程控制。這使遠程訪問能夠實時監視和處理所有進程。還提供了高級工藝庫,允許高精度蝕刻以提供一致的結果。在可靠性和安全性方面,SCHMID Combi Line的設計是持久的.它的模塊化設計是圍繞良好的物料處理形成的,提供了額外的安全層,並消除了操作員與危險物料的接觸。尾部和輔助氣體管線可加快加工率,同時通過減少進入工作區的氣體排放來保護環境。該設備最令人印象深刻的特點之一就是其出色的數據采集。資產記錄所有流程數據,允許即時檢索和分析。記錄的數據還可用於構建配置文件和增強流程知識。這樣就可以輕松優化配方以優化運行時以及跨多個系統傳輸。總體而言,Combi Line是一款頂級的蝕刻器/asher,旨在為所有類型的電子應用程序提供最大的效率和質量結果。它具有靈活性、多種處理功能、可靠的操作模型和先進的數據采集功能,使其成為任何生產環境的理想工具。
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