二手 SCHMID Combi Line #9237970 待售

SCHMID Combi Line是一種多功能蝕刻器/asher，設計用於對晶片進行等離子體蝕刻和灰化，而無需人工幹預。該設備由一個單一的模塊化單元組成，結合了蝕刻室、工藝氣線、真空設備和原位等離子體源。Combi Line的蝕刻室設有內部電極和帶電粒子束，在高溫下產生無偏電離氣體，最大限度地減少蝕刻損傷，改善工藝控制。可調蝕刻工藝參數，如壓力和工藝氣流，由可編程邏輯控制器（PLC）控制。該單元設計為最多可同時處理六個晶片，並且與所有標準晶片尺寸兼容。晶圓由附著在上盤上的墊子加熱，可以精確的手動調節溫度。蝕刻室中央的原位等離子體源是可移動的，可針對不同的蝕刻配方進行編程。SCHMID Combi Line中的異步壓力調節系統（APRS）可以自動調整以控制蝕刻室內的壓力。它允許設備在不使用外部泵的情況下進行蝕刻,從而降低了成本和時間。該單元的旋轉ashing單元具有在ashing過程中均勻加熱晶片的優點。這樣可以減少熱預算,防止熱擴散對敏感層或結構造成損壞。設備的模塊化設計便於快速維護和更換。整個機器建立在一個緊湊的平臺上，利用單一氣閘快速轉移晶片。PLC配備了圖形用戶界面（GUI）,它提供了一個易於使用的界面,用於輸入和運行蝕刻和灰化配方以及監視工具的狀態。總體而言,Combi Line在單個單元中提供了擴展的蝕刻和灰化功能。這些設備提供了更高的吞吐量、更好的過程控制和精度,以及更低的擁有成本。