二手 SCHMID Infinity Line #293605245 待售

SCHMID Infinity Line etcher/asher是為各種工業材料的高級加工而設計的設備。該系統可用於廣泛的應用，從簡單的蝕刻和灰化過程到更復雜的表面微結構操作。無限線單元由兩個主要模塊組成；單個晶圓蝕刻/灰化處理器和可選的熱處理單元。SCHMID Infinity Line 蝕刻/ashing處理器是一種緊湊設計的機器，具有用戶友好的圖形用戶界面（GUI）和簡單的過程控制功能，以確保最大程度的重復性和可重復性。該工具包括一個快速掃描蝕刻/灰室以及一個單獨安裝的可編程、三軸（X、Y和Ω控制器），樣品定位精度小於1 μ m。此資產使用戶能夠精確控制蝕刻/灰化過程參數,例如蝕刻/灰化機制的溫度和功率。除了單晶片應用外，Infinity Line在批處理模式下還能處理25個晶片。內置內存存儲使用戶能夠存儲和重新運行配方以實現快速且無故障的處理。SCHMID Infinity Line由頻率控制的驅動電動機提供動力，它允許過程速度控制和精度。此外,還可以使用調頻（FM）測量來實時監測過程進展和檢測像差。可選的熱處理單元連接到Infinity Line蝕刻/灰化處理器,允許用戶對基板進行預處理和後處理。該型號配備了非接觸式、非熱力計，以確保精確的溫度控制和均勻的熱處理。該單元還允許用戶使用幾種熱處理氣體，如Ar和N2，將熱量精確傳遞到基板上。SCHMID Infinity Line 蝕刻器/asher的整體設計功能強大，能夠處理廣泛的材料，並進行高度精確的蝕刻和灰化操作。該設備確保了可重復的蝕刻/灰化結果,並為熱處理提供了最佳的溫度管理。