二手 SCI AUTOMATION CAM2 #9249239 待售

SCI AUTOMATION CAM2是一種先進的蝕刻/灰化設備,專為快速高質量的微加工而設計,占地面積很小。它具有模塊化設計,可根據用戶的需求提供靈活性和定制。CAM2包括一個用於化學加工的潤濕罩，以及一個用於灰化的實驗室。此外，它還能夠進行良好控制的無掩碼和常規光刻、濕射流和化學蒸氣蝕刻（CVE）。SCI AUTOMATION CAM2由直觀的十點觸控液晶屏幕驅動,具有圖形用戶界面（GUI）,允許用戶輕松交互和控制系統。它具有可從GUI配置的各種流程參數,使用戶可以根據所需的規格自定義流程。集成設計減少了外部檢測,GUI節省了設置過程參數的時間。濕包包括一個溫度控制和加熱到所需溫度進行蝕刻和灰化的化學儲層。蓄水池附著在一個自動液體處理裝置上，以便能夠以適當的比例準確地輸送和混合化學品。濕袋的其他部件包括一個防止腐蝕的去離子水箱、可回收廢物容器、一個安全面板和一個帶有紫外線源的曝光室。曝光室也有集成的傳感器來監控過程，例如溫度和壓力。Ashing chamber has a enclused interior that is designed to providing a safe and controlled atmos它有一個排氣機來保護工人免受有害物質的傷害，可調節的風扇速度，以及一個溫度控制工具來維持理想的溫度以達到所需的過程。Ashing chamber中裝有一個用於容納晶片的石英熔餅和一個用於蝕刻和移動晶片的雙臂機器人。CAM2還具有自動備件處理、快速樣品/基板轉換和快速熱處理的功能。它還具有溫度關閉資產、緊急停止按鈕和滅火模型等一系列安全功能。總體而言,SCI AUTOMATION CAM2是一款先進且用戶友好的蝕刻/灰化設備,具有集成的設計和強大的安全功能。直觀的LCD觸摸屏和可定制的流程參數為用戶提供了根據其應用程序定制特定流程的靈活性。CAM2具有廣泛的功能和可靠的性能,是要求苛刻的微加工工作的理想選擇。