二手 SCI AUTOMATION QML #9249237 待售

SCI AUTOMATION QML是一款專門為半導體制造而設計的先進蝕刻/asher設備。它能夠進行薄膜光刻和半導體器件制造所需的精密蝕刻和灰化工藝。該系統利用多個蝕刻/ashing頭、多個卡盤系統、多功能可編程作業文件等先進技術特性，提高吞吐量。該單元配置了最多四個獨立的蝕刻/灰化頭,允許同時蝕刻和灰化具有不同掩模模式的多個晶片。每個蝕刻/灰化頭的設計都是針對特定客戶的蝕刻/灰化需求而專門定制的。這將確保針對所使用的特定半導體工藝優化蝕刻/灰化工藝。多重卡盤系統允許晶片移動，定位準確穩妥，因此可以達到正確的定向和蝕刻深度。此外,可以根據要蝕刻和粉刷的晶片的不同尺寸來調整卡盤系統。多功能可編程作業文件的設計是為了最大限度地提高QML機的效率。這些作業文件用於配置正在執行的進程的參數,包括晶圓大小、蝕刻/灰頭、卡盤設置和其他設置。作業文件也可以根據客戶的特定需求進行自定義。這使得可以同時蝕刻具有不同掩模模式的多個晶片，從而節省時間和提高效率。總體而言,SCI AUTOMATION QML是一種革命性的蝕刻/灰化工具,它提供了先進的技術功能,可幫助提高吞吐量,並將半導體工藝提升到一個新的水平。有了這項技術,半導體制造商就可以期望在每項工作中都能實現最佳蝕刻和灰化晶片、降低步驟和提高效率。