二手 SEMITOOL Excalibur 2000 #9226634 待售

SEMITOOL Excalibur 2000 蝕刻器/asher是用於化學去除或沈積材料的先進設備。它是一種自動化的半導體、晶圓或模具級工藝，用於制造半導體集成電路（IC）芯片的蝕刻和灰化方法。Excalibur 2000設備在晶圓尺寸和基材類型方面提供了極大的靈活性；可以處理所有類型的半導體晶片，如矽、砷化氙、藍寶石上的矽和玻璃陶瓷基板。SEMITOOL Excalibur 2000系統常用於半導體復合半導體工藝實驗室。蝕刻器/asher包括一個帶有應用程序槳的機器人手臂，以均勻和自動地將加工化學品分配給加工室中的晶片。機器人手臂與標準吊艙載具兼容；它還配備了一個同步控制板，可以用來調整機器人的運動次數和每個晶圓的配方。機器人臂還連接到同步控制板，用於過程化學傳遞，確保化學加工的一致性和準確性。Excalibur 2000單元配備了一個集成的、最先進的Excalibur光學機器，它允許精確監測和控制蝕刻/灰化過程。光學工具包括一個紅外掃描儀、一個光學成像儀、一個可選的光刻劑檢測頭，以及一個具有可變可調光纖資產的準直光學傳感器，提供對蝕刻和灰化過程的實時控制。它還提供可調節的參數,例如晶圓上蝕刻特征的大小、位置、厚度和形狀。SEMITOOL Excalibur 2000型號還具有先進的多點射頻光源,用於具有可調功率和射頻波形類型的蝕刻。它還具有高速、高精度成像儀，用於等離子體增強CVD等先進工藝的保護層。最後,Excalibur 2000設備基於一個用戶友好的軟件平臺,該平臺允許通過觸摸屏控制界面輕松編程和控制蝕刻/灰化過程。配方編號、晶圓尺寸、氣流、溫度、壓力、RIE參數、RF參數、冷卻時間等控制參數均可從界面調節。SEMITOOL Excalibur 2000 蝕刻器/asher是一種高效、先進的IC芯片制造工藝工具。它的特點使得精確、準確和一致的蝕刻和灰化過程具有晶圓尺寸和基材類型的最大靈活性。其紅外掃描儀和光學成像系統提供了對蝕刻和灰化過程的高級監控，而集成軟件平臺則允許方便編程和控制。