二手 SEMITOOL Excalibur 2000 #9250097 待售

SEMITOOL Excalibur 2000是半導體行業的一款先進、高性能的蝕刻器和asher。它提供了最高的流程統一性和最低的總體擁有成本。Excalibur 2000擁有先進的自動化工藝控制設備，經過高度優化，可最大限度地減少基板缺陷，減少顆粒汙染並確保工藝合規性。它提供了先進的蝕刻能力，能夠精確控制屏蔽、蝕刻深度、蝕刻速度和基板的平坦度。它可以蝕刻和沈積幹燥和濕的介質，並提供無與倫比的過程可重復性與卓越的精度。SEMITOOL Excalibur 2000配備了動態腔室設計，可在整個基板範圍內產生無與倫比的± 1°C/min的熱均勻性，確保過程結果一致。它具有內置的過程定義和控制，為高產量、高通量半導體生產提供了靈活性和準確性。為確保結果一致，Excalibur 2000使用了卓越的高純度加工氣體，這些氣體可以進行精確的調節和計量，以實現最佳的工藝控制。它具有先進的冷卻系統、原位溫度和壓力傳感器，可實時監測，顯著減少氣體損失。高級流程控制監視和報告工具（如用於RF生成器的生命周期監視器）,使用戶能夠監視關鍵參數並快速解決流程問題。集成電源監控單元允許用戶持續監控發電機輸出功率,並在出現問題時發出警報。SEMITOOL Excalibur 2000旨在為生產商提供可靠的結果、較低的擁有成本和較高的性能。其先進的再循環機監控和清潔工藝室和泵的顆粒堆積和汙染。憑借其工藝精確度和效率,Excalibur 2000提供了業界每平方英寸最高的蝕刻和asher工藝步驟吞吐量。