二手 SEMIX / TOK TCA 2600 #9068923 待售

SEMIX/TOK TCA 2600是一種蝕刻/asher設備，設計用於一系列生產線應用。它是一個獨立的集成系統,具有自動化和手動控制功能,可對蝕刻和灰化過程進行精確控制和操作。該裝置的特點是一個由不銹鋼構成的腔室，以及一個氣體分配機和一組控制器和閥門，以便對工藝參數進行精確的控制。TOK TCA 2600使用強大的磁控管源產生用於蝕刻和灰化的等離子體。現有若幹可編程參數，如氣體、壓力和溫度，以確保產生的等離子體是一致和可靠的。SEMIX TCA 2600還具有一個用戶友好的界面,用於控制工具、設置和執行配方以及監控過程。該資產的設計易於集成到生產線中,並支持各種通信協議。軟件包包括收集、分析和可視化過程數據以及簡化處理配方開發的廣泛功能。該工藝室還配備了多種安全功能，如壓力監控器、真空互鎖和報警模型。它們旨在確保進程安全可靠地運行。此外,TCA 2600還具有若幹維護功能,可監控設備是否出現故障或異常。總體而言,SEMIX/TOK TCA 2600是一個蝕刻器/asher系統,它提供可靠、精確的性能以及安全功能和用戶友好的界面,便於集成到生產線中。該設備旨在提供一致和準確的結果,使其成為各種生產應用程序的理想選擇。