二手 SEMIX / TOK TSE 306W #9061404 待售

SEMIX / TOK TSE 306W
ID: 9061404
Plasma asher.
SEMIX/TOK TSE 306W是一種蝕刻器/asher設備,用於在各種基板上執行高精度蝕刻和表面替換過程。該系統采用具有等離子體或靜態蝕刻級的單室配置,以精確沈積和去除材料。通過利用TOK TSE 306W的先進功能,用戶可以在多種金屬、塑料等材料上取得優異的成績。SEMIX TSE 306W單元由能夠容納大型物體或工件的主室組成。室內是用來將材料沈積在基板表面的蝕刻階段。蝕刻階段允許高度精確的位置精度高達+/-10微米。機器還包括一個靜態蝕刻階段,允許用戶執行精確的表面替換過程。靜態蝕刻階段能夠從工件表面去除多達1 μ米的材料。此外,TSE 306W可以配備平面直流或射頻等離子體發生器,以實現更積極的蝕刻。SEMIX/TOK TSE 306W工具也可配置各種劑量和溫度控制功能,有助於確保一致和準確的結果。劑量控制資產使得在每個蝕刻過程中使用的化學品的正確劑量很容易設定,而溫度控制模型允許用戶設定精確的過程溫度。此外,TOK TSE 306W設備包括一個先進的過濾系統和一個獨立的廢氣,以改善安全和環境保護。總體而言,SEMIX TSE 306W對於需要在各種基材上進行高度精確的蝕刻和替換過程的用戶來說,是一個極好的蝕刻器/asher單元。該機器能夠以最小的努力取得優異的效果,而其高級功能有助於確保一致和準確的結果。
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