二手 SEMIX / TOK TSE 360 #9068921 待售

SEMIX/TOK TSE 360是一種蝕刻器/asherer，用於將微電子電路轉移到晶圓和基板上。它專為晶圓級封裝應用而設計。它有一個特定的過程，稱為智能Etch™技術，它由化學物質、氣體通量和主動反應組成，以提供最佳特征分辨率。這種智能Etch™工藝可以與光刻膠結合使用，也可以單獨使用。TOK TSE 360能夠處理各種晶圓和基材，從最小的音高「熱點」到最大的外圍。它設計有多個蝕刻室，允許它在同一操作中處理設備的正面和背面。它配備了一個精密的氣體通量模塊，為過程提供精確的化學控制。此外,它還具有高級用戶界面,允許用戶根據需要快速編程和調整蝕刻配方。SEMIX TSE 360具有精確的特性分辨率。其高精度的刀具體系結構確保了大多數特征的復制完全符合設計要求。這是由小噴嘴設計與精密氣體通量化學相結合而成。此外,智能Etch™技術始終減少深度變化並提高準確性。TSE 360設計用於大批量、大批量生產。它允許同時處理多個基板，每次操作最多可處理600個晶圓。它具有很大的蝕刻能力,非常適合大批量生產。此外，它的精確度和精確度使其適合高端器件制造。最後，SEMIX/TOK TSE 360是一種針對晶圓級封裝應用而設計的蝕刻器/asherer。它具有智能Etch™技術和先進的氣體通量模塊.它提供精確的特征再現，能夠同時處理多種基材。所有這些特性使得TOK TSE 360成為大批量、大批量生產的理想選擇。