二手 SES MU-0712-01-02 #9284128 待售

SES MU-0712-01-02蝕刻器是由Semes公司專門設計用於物理和材料科學領域的高性能反應性離子蝕刻設備，MU-0712-01-02利用先進的大氣壓離子蝕刻技術。這項技術依賴於用射頻（RF）場感應電子束時釋放的能量。這一過程使得精細的蝕刻結果具有非常低的離子能量，因此非常適合敏感器件如復合半導體和納米結構的蝕刻。蝕刻器配備了幾個特點，使其成為物理和材料科學的完美工具。使用直觀設計的用戶界面可以方便地設置和調整實驗。設備還配備了晶片處理能力，包括晶片映射、字母數字參考索引和條形碼標簽。這樣就可以精確地對晶圓進行別名和識別。該系統還配備了幾個先進的安全功能，確保蝕刻機的可靠和安全運行。由於其壓力控制單元允許蝕刻器在不同的氣體壓力範圍內運行，該單元能夠實現高通量。根據蝕刻要求,可以手動或自動調整此範圍。此外，機器上的溫度監測器有助於控制蝕刻過程的均勻性。SES MU-0712-01-02利用兩種不同的幾何形狀實現精密蝕刻，即通過聚焦高斯光束和離焦高斯光束。前者比後者具有更高的離子能，因此在蝕刻時能夠實現更高的精度。此外,MU-0712-01-02還配備了三種不同的抽水模塊：擴散、渦輪增壓和低溫.這種配置通過提供各種氣體流動要求和精確控制工具的壓力，使得針對不同應用優化蝕刻過程成為可能。此外，蝕刻機內的定制電極允許良好的蝕刻均勻性和低濺射速率。SES MU-0712-01-02蝕刻器設計方便維護和低成本運行，使其成為實驗室、大學和研究設施的理想選擇。它具有強大的安全系統、直觀的用戶界面和精確的蝕刻功能等高性能功能,使其成為研究環境中完美的蝕刻設備。