二手 SES Sugai #9192009 待售

SES Sugai是一款高級蝕刻器/asher，專為晶圓的高精度蝕刻和灰化而設計。它利用幾個專門的過程和特點來確保準確性和效率。首先，蘇蓋配備了高速XY級和運動控制設備，為其晶圓載波提供快速、精確的運動。這使得蝕刻器/asher能夠快速準確地掃描目標晶片。該級還配備了先進的激光系統，用於晶圓載波的精確對準，以及調節工藝的速度和分辨率。其次，SES Sugai采用專用氣體輸送裝置，能夠實現高精度蝕刻和灰化。氣體輸送機提供了氧氣、Ar、N2和其他氣體的精確組成，同時保證了規定的氣體流量和壓力。該工具還可以防止氣體輸送管路受到汙染，並確保晶片的有效蝕刻和灰化。第三，Sugai具有用於直接蝕刻和灰化過程的等離子體源。這種等離子體源產生一種均勻、低溫的等離子體，非常適合蝕刻和灰化。等離子體源的高能密度進一步提高了蝕刻速率和工藝速度。最後，SES Sugai配備了多套工藝傳感器，用於監控蝕刻和灰化工藝的各種參數。這些傳感器非常精確,可以精確控制晶圓在蝕刻和灰化過程中的加熱和冷卻速率、壓力和氣流。總體而言，Sugai是一種先進的蝕刻器/asher，其設計目的是為晶圓的蝕刻和灰化提供高精度的結果。其專門的特性和功能使其成為晶圓處理應用的強大工具。