二手 SEZ / LAM RESEARCH 100 #9211219 待售

SEZ / LAM RESEARCH 100
ID: 9211219
Single wafer etcher.
SEZ/LAM RESEARCH 100,又稱蝕刻器/asher,是一種模塊化、用途廣泛的化學加工設備,設計用於高通量基板的串聯或批量加工。該系統非常適合表面清潔、晶圓表面安裝組件連接/分離、晶圓粘合、器件封裝、陶瓷塗層和模具連接。SEZ 100是一個多用途的單元,可以執行許多不同的應用,包括蝕刻和ashing。該機器能夠加工直徑不超過6英寸、厚度不超過25微米的基板。它擁有易於使用的圖形用戶界面,並利用高精度熱電偶和其他傳感項目提供準確的過程控制。該工具旨在提供完整、可靠和可重復的蝕刻/灰燼工藝。LAM RESEARCH 100配備了許多功能,使其能夠滿足廣泛應用的需求。它有幾個化學輸送模塊,包括腐蝕性液體的特種輸送資產Acutherm和可調化學註入模型Flexiload。該設備還具有多種溫度控制選項,包括精確溫度控制、可編程溫度傾斜、溶劑超限、熱浸泡和自動熱耦合。此外,該系統具有內置的循環能力,使沐浴壽命延長,過程可重復。100被設計為蝕刻和灰化的多合一解決方案,可以很容易地集成到現有生產線中。由於其模塊化和多用途的設計,該單元能夠以一致的結果和最小的停機時間進行蝕刻/灰化。它的高級功能還有助於最大限度地減少化學品使用和勞動力需求,同時使公司能夠生產高性能產品。SEZ/LAM RESEARCH 100對於高通量基板的任何串聯或批量加工都是可靠、強大且經濟實惠的選擇。這臺機器具有用戶友好的特點和多用途的模塊,是尋找可靠工具蝕刻/粉刷基板的公司的理想選擇。
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