二手 SEZ / LAM RESEARCH 101 #293652614 待售

SEZ/LAM RESEARCH 101是一種用於半導體制造過程中的高精度、晶圓級的蝕刻器/asher設備。該系統是一個三級、高通量、自清洗蝕刻器/asher單元，具有全自動晶片卡帶到卡帶的過程。該單元能夠產生5埃（Å）的最小蝕刻深度和0.2微米的最小灰度深度，同時提供一致和可重復的結果。該機器能夠對堆叠晶片和單個晶片進行精確、精確的蝕刻和粉刷，沒有人的相互作用。該工具利用氣體軸在沈積蝕刻氣體之前吹幹晶片（非常適合保護層蝕刻和高密度等離子體蝕刻）。資產可以產生廣泛的蝕刻和灰度剖面,包括各向同性、步長、各向異性、選擇性和深蝕刻剖面。也可用於進行慣性和非慣性蝕刻/灰化。該模型利用上遊/下遊N2清除設備，允許用戶控制反應性氣體對晶片的暴露。該系統配有可編程邏輯控制器（PLC），對反應物的溫度、壓力和流量等重要過程參數提供精確控制。PLC還能夠存儲最多256個晶圓配方的庫，無需用戶的任何幹預即可快速加載和執行。該單元還具有大型液晶觸摸屏和直觀的圖形界面，使操作員能夠監控機器狀態，並在每個晶片通過單元時進行檢查。這樣可以多次確保高質量和一致的蝕刻/灰化結果。該工具還提供了全面的診斷和報告功能,這對用戶快速分析和識別資產問題非常有幫助。