二手 SEZ / LAM RESEARCH 101 #293758270 待售

SEZ/LAM RESEARCH 101是一種蝕刻器/asher，一種化學蝕刻和蝕刻車道選擇性去除設備。常用於小特徵的處理，尤其在微電子、半導體、光伏等行業。SEZ 101為包括半導體、金屬、聚合物和氧化膜在內的材料的蝕刻提供了高精度、可重現和靈活的系統。該單元由三個緊密集成的組件組成：一個工藝室、一個精密控制單元和一個蝕刻頭。該工藝室提供了蝕刻操作所必需的封閉環境，並包含一個強大的排氣機以清除任何產生的蝕刻殘留物。精密控制單元包含必要的編程、加熱和控制，以便對材料進行精密蝕刻。最後，蝕頭提供了精確控制施加到基板上的功率和電流的能力，以有選擇地蝕刻圖樣。LAM RESEARCH 101具有強大、快速而精確的蝕刻引擎，能夠產生25納米以下的特性尺寸。該工具包含最先進的過濾資產，可確保任何大小的蝕刻顆粒從真空室中排出，保持高質量的環境。此外,蝕刻模型還提供了對可用於接觸、金屬化和隔離應用的材料和特征進行精確設計的能力。由於其靈活性和精確的蝕刻能力，101被用於生產集成電路、太陽能電池和微機電系統，以及用於先進的研究應用。該設備還能夠支持不同基材、材料和應用的多個過程和工作流程。此外,該系統還提供出色的視線成像功能,允許在蝕刻過程前後對蝕刻圖樣進行無損評估。總體而言，SEZ/LAM RESEARCH 101是一個先進的蝕刻單元，提供強大、精確、靈活的解決方案，用於蝕刻微電子和半導體行業中使用的各種材料。是一種用於先進研究和生產應用的可靠、經濟的工具。