二手 SEZ / LAM RESEARCH 101 #9246714 待售

SEZ/LAM RESEARCH 101是一款蝕刻器/asher，由SEZ設計制造。這是一種熱化學加工設備，旨在以高精度和精確度快速、精確地蝕刻、沈積和平面化基板。該系統建立在惰性氣體大氣和溫度控制平臺上，具有能量對工作的隔離和控制。SEZ 101采用了一系列工藝模塊來實現蝕刻和灰化元件。這包括接口室、蝕刻/灰化室和冷卻劑模塊。該單元提供一系列可編程參數,如溫度、流速、壓力和時間。溫度保持在預定義的水平，以便對基板進行一致的蝕刻。蝕刻/灰化室是機器的關鍵部件。它具有多區空氣冷卻和溫度均勻性（跨1.7 x 1.7英寸32 °F），以確保基板的熱和化學處理均勻。這個腔室還配備了高速率等離子體源和屏蔽。為確保均勻蝕刻，使用頻率穩定的射頻源進行等離子體活化。界面室用於在基板加熱和氣流控制過程中提供真空。它裝有確保均勻蝕刻速率的離子源。冷卻劑模塊的設計確保了蝕刻/灰化室和基板的一致冷卻。它具有將溫度保持在預定水平的能力。可編程的氣體入口和出口在工藝室內提供均勻的氣體流動。LAM RESEARCH 101是一種柔性蝕刻/灰化工具，能夠處理各種基材，包括金、鋁和矽。101具有較高的蝕刻速率、優異的均勻性和可重復性,是許多蝕刻和灰化工藝的有效解決方案。該資產非常適合各種應用,從MEMS制造到原型設計。