二手 SEZ / LAM RESEARCH 203 #9246715 待售

SEZ/LAM RESEARCH 203 Etcher/Asher是一種最先進的高級蝕刻機，用於在半導體晶圓上創建圖樣和電路。它類似於傳統的蝕刻器，在這種蝕刻器中，將光刻膠或氧化物的薄膜塗在晶片表面，然後再蝕刻出所需的圖樣。不過RESEARCH SEZ 203配備了獨特的激光輔助蝕刻設備，可以讓設計更加精確、精確、復雜。RESEARCH LAM RESEARCH 203專為高容量、高精度的生產操作而設計,並配有先進的光學、軟件和腔室設置,可實現各種蝕刻參數。它具有激光輔助原位端點檢測（LIPED）和對先進數據監測和控制的支持。要創建圖樣,機器首先將所需的光刻膠或氧化膜應用於晶片,然後使用激光束創建所需的圖樣。然後可以將該模式編程到機器的激光控制器中，該控制器控制激光束的運動、強度和功率，以繪制出所需的模式。光束通過一系列能量調制的光學元件，將其引向晶圓的光掩蔽區域。繪制圖樣後,激光光束將聚焦到工件上,在為清潔工作結果而優化的受控環境中有選擇地去除光刻膠或氧化膜。RESEARCH 203的系統還擁有一個先進的自動化清潔單元,可確保每個過程運行前的清潔工作條件,從而進一步提高結果的準確性和可重復性。為了減少化學和材料浪費，該機器還配備了旁路機器，在使用不需要這種技術的聚合物時，無需空氣和/或惰性氣體。RESEARCH SEZ/LAM RESEARCH 203用途廣泛,可用於在所有主要半導體材料上創建多種樣式和特征。它是尋求先進蝕刻能力的大型生產運營和研究機構的理想解決方案。