二手 SEZ / LAM RESEARCH 203 #9246716 待售

SEZ/LAM RESEARCH 203是一種蝕刻器/asher，用於半導體制造和研發環境。這款精密設備采用線性電子束（LEB）源,其設計特點是具有一致的輪廓、縱橫比和深度。此外，該系統可能用於產生半導體表面的高速、短脈沖清洗。具有開放式框架配置,SEZ 203配備了現場可更換組件,便於維護。這確保了最大的正常運行時間,並允許根據需要重新配置設備。LEB源包括三個主要組件-電子槍、束成形電極和磁場產生線圈。這種設計允許自動脈沖氣體輸送，允許精確的過程控制。可以在LEB源中加入兩個氣體噴射器，註入第二個等離子體氣體，以增加蝕刻能力。此蝕刻器/asher通過簡單易用的Process Create PC軟件包進行編程。該軟件允許用戶開發和保存配方，同時提供實時流程監控。所有配方都可以存儲在設備的內存中以備將來使用。此外，LAM RESEARCH 203還為用戶提供了一個集成配方管理機器，以方便多個系統之間的配方交換。當用作蝕刻器時，203通過使用其精細控制的電子束產生亞微米分辨率特征。此外，該工具還配備了先進的基板車工，使其成為跨越大型排列基板的多層蝕刻的理想選擇。此特納還能夠根據自定義參數和用戶定義的公差執行自動配方。SEZ/LAM RESEARCH 203資產在用作粉碎機時,能夠對先進的半導體表面進行短脈沖、高速清潔。這將清除設備表面的汙染物,以幫助生產性能更高的設計。除了傳統的ashing之外，該模型還能夠利用變速電機控制器來減少循環時間和ashed表面的粗糙度。總之，SEZ 203是一個先進的蝕刻/asher能夠滿足各種需求。該系統具有精密的LEB源、自動氣體輸送、集成配方管理設備和基板車工等特點,非常適合處理具有挑戰性的蝕刻和灰化過程。LAM RESEARCH 203設計簡單易行,是具有復雜蝕刻和灰化需求的組織的絕佳選擇。