二手 SEZ / LAM RESEARCH 203 #9246718 待售

SEZ / LAM RESEARCH 203
ID: 9246718
晶圓大小: 6"-8"
Spin etcher, 6"-8" With chamber.
SEZ/LAM RESEARCH 203 蝕刻器/asher是為半導體行業設計的高品質蝕刻和灰化工具。這種蝕刻器是為了蝕刻和ashing半導體材料如矽、的、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、。它可以處理直徑不超過8英寸的晶片,並具有堅固的計算機控制系統,以確保對基板進行精確的蝕刻和灰化。SEZ 203利用蝕刻/收集器工藝在晶圓上創建電路。蝕刻是去除基板層薄層的過程,而灰化是去除基板上的氧化物層的過程。蝕刻器/asher使用等離子體浸沒離子植入和反應性離子蝕刻(RIE)的組合,以達到理想的效果。它還具有利用氣體活化化學氣相沈積和電化學沈積沈積薄膜的能力。LAM RESEARCH 203還具有多種安全特性,包括惰性氣室、排氣擋板和化學輸送系統。惰性充氣室防止危險化學品與晶片接觸的可能性。排氣擋板有助於使蝕刻和灰化蒸氣遠離操作員。化學輸送系統還保持了蝕刻和灰化過程的一致性和準確性。203是半導體行業可靠、經濟高效的蝕刻和灰化解決方案。其功能確保了用戶的精確蝕刻和灰度處理以及安全性。它易於操作和維護,是任何蝕刻和灰化應用的理想選擇。
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