二手 SEZ / LAM RESEARCH 203 #9399002 待售

SEZ/LAM RESEARCH 203 Asher是一種通用的批處理晶圓蝕刻工具。Asher采用等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）工藝，專門設計用於蝕刻和清洗高溫敏感材料，如碳化矽、砷化​​氙和藍寶石。SEZ 203是用於半導體制造的理想選擇,它使用壓力、溫度和化學的組合來清潔、蝕刻或掩蔽工件。Asher的工藝室用高質量的真空加壓，然後加熱以減少或澄清工藝中的汙染物。流量會自動監控,從而可以精確控制蝕刻速率。存儲多個工藝配方,以便於訪問,無論材料如何,都能獲得一致的蝕刻結果。此外,所有工藝參數都可以通過大型觸摸顯示器輕松調整,從而能夠根據特定要求快速定制。Asher的高級診斷最大限度地提高了性能和安全性。Asher通過其集成的激光幹涉儀和光電二極管陣列，在x和y兩個方向對準具有納米級精度的基板。激光還包括一個汙染監測儀，利用激光幹涉測量來檢測和測量蝕刻室中存在的任何雜質。這樣可以確保過程的安全性和質量,同時最大限度地減少廢料。Asher還具有許多環境特征。它符合危險材料的UL綠色標簽系統標準，這意味著它不接觸或限制接觸有害材料，例如臭氧和其他揮發性有機化合物。此外,它還配備了安全門,可防止意外啟動或過程中斷。Asher還設計用於最大程度地減少噪音,將聲級保持在最低水平。綜上所述，LAM RESEARCH 203 Asher是一款適用於高溫敏感材料的高效、性價比高的批量加工蝕刻器。其自動化的工藝配方和具有納米級精度的高級診斷確保了一致的結果,而其環境控制有助於使其成為一個安全可靠的設備。