二手 SEZ / LAM RESEARCH 223 #293774501 待售

SEZ/LAM RESEARCH 223是一款功能豐富的蝕刻器/asher,非常適合晶圓的制造和加工需要。它可容納300 mm晶圓,旨在提供最佳蝕刻性能,占用空間更小,從而節省寶貴的空間。該設備配有集成過程控制，為用戶提供可靠、可重復的蝕刻性能。該系統配有高分辨率自動對齊器和能量監視器，用於精確蝕刻。它能夠處理單面和雙面晶片，並且可以在單個晶片的頂部和底部蝕刻。自動對齊器允許設備快速準確地匹配每個晶片的蝕刻參數，確保每個蝕刻執行完全相同。這有助於提高機器的整體吞吐量和準確性。SEZ 223工具利用兩級等離子體蝕刻資產，最大化蝕刻速率和輪廓控制。這種先進的工藝控制技術提供了增強的蝕刻控制，以及清潔的環境，這對晶圓曝光/開發過程是有利的。該模型還具有最大的靈活性，能夠蝕刻具有各種不同尺寸和材料的晶片。該設備還被設計用來優化蝕刻工藝，並通過利用一種改進的氣體輸送方案最大限度地提高吞吐量，該方案可以在整個晶片表面上誘導均勻的蝕刻輪廓。這意味著該系統提高了整個晶片的蝕刻均勻性。LAM RESEARCH 223還設計方便維護和操作。該設備還配有一個用戶友好界面，便於監控機器性能和訪問刀具參數。可靠的資產設計確保了資產在較長時間內的可靠和高效運行。總體而言，223是一種健壯高效的晶圓蝕刻器和灰化器，非常適合晶圓的制造和加工需要。該型號可處理各種尺寸和材料的晶片，占地面積小以節省有價值的空間，並為用戶提供可靠、可重復的蝕刻性能。設備的兩級等離子體蝕刻系統和集成過程控制使其易於維護和操作，其用戶友好的界面使其易於監控和訪問單元參數。