二手 SEZ / LAM RESEARCH 223 #293775128 待售

SEZ/LAM RESEARCH 223是為高性能晶圓加工而設計的先進蝕刻和灰化設備。該系統被設計為一個靈活的解決方案，對於灰化和蝕刻的應用，目標是顯著降低周期時間和提供優越的過程控制。它具有獨立或自動化的操作功能,適用於完整的晶片處理和部分晶片處理應用,晶片與晶片的一致性小於5%。該單元還在全晶片和部分晶片蝕刻和灰化過程之間提供了卓越的工藝可擴展性。SEZ 223包括一個高效、可擴展的過程室和一臺先進的計算機自動化過程控制（CAPC）機器，用於全晶圓或部分晶圓過程控制。它旨在提供高度準確和可重復的蝕刻和灰化結果,而無需操作員幹預。腔室設計包括一個200毫米晶圓壓板，帶有兩個NO FAB®浮動支撐臂，可優化處理較小的基板。其腔室容積為3300升，配有可調氣體分配工具，用於原位氧化防護，可調流量比用於蝕刻和灰化控制。LAM RESEARCH 223包括具有實時晶圓溫度監測和MFC by壓力回路控制模塊的高級閉環資產。該模型用於準確控制沈積和蝕刻速率，以產生一致和可重復的結果。此外，設備還配備了專用的集成清潔系統，以便在各個晶片工藝之間進行完整的蝕刻/灰分清理。這個單元包括一個兩步走的方法，其中包括一個直接吸水沖洗，然後一個氮氣定向清洗和等離子體，以確保一個完整的清理腔室。223還包括一個CORE Automation®軟件套件,以確保準確的流程參數設置和遵守。此通用軟件允許用戶自動執行流程設置、執行、傳輸和跟蹤。它還具有可靠的批處理功能,可跨多個系統分配工作負載。總體而言，SEZ/LAMS RESEARCH SEZ/LAM RESEARCH 223是一款先進的蝕刻和灰化機，旨在最大限度地減少循環時間，改善過程控制和一致性，取得可靠的效果。憑借其全面和先進的功能,此工具提供了適合各種應用的可靠蝕刻/灰燼解決方案。