二手 SEZ / LAM RESEARCH 223 #293814668 待售

SEZ/LAM RESEARCH 223是一種精密的蝕刻器/粉碎器,具有緊密、高精度的介電隔離特性。它專為工業用途而設計，可用於MEMS、RF、CMOS等多種生產工藝。該工具利用電子回旋共振（ECR）和電感耦合等離子體（ICP）技術,提供多種蝕刻和灰化選項。SEZ 223允許廣泛的流程控制功能,為用戶提供滿足流程需求的靈活性。LAM RESEARCH 223帶有一個負載鎖定和泵站，可以快速處理多個晶片，從而實現高效生產和提高吞吐量。該工具先進的工藝配方控制系統（包括多個端點參數和廣泛的工藝日誌記錄）結合其內置的特征大小和漂移補償算法，保證了在多個晶圓上的均勻蝕刻。此外,該工具在生產過程中保持了極好的可重復性,並且提供了非常短的工藝周期時間,從而提高了生產率並降低了生產成本。223利用ICP源進行高選擇性和低損壞蝕刻,其ECR源模塊提供更高的蝕刻速率,非常適合深度特征蝕刻。該工具的高級ECR控制算法可確保在寬進程窗口上進行非常均勻的蝕刻。該工具的壓力和氣流控制能力進一步確保後續工藝步驟的一致性和可靠性。SEZ/LAM RESEARCH 223還提供獨特的射頻蝕刻/灰化模式，提供極為先進的灰化控制參數，以及材料特有的蝕刻能力。聚焦和電容耦合等離子體源允許快速、高質量的蝕刻和灰化，而不產生二次電離物質。該工具甚至允許在不同的應用中使用範圍廣泛的溫度，從主動冷卻到加速金屬蝕刻。總體而言,SEZ 223是一款可靠且先進的蝕刻器/asher。其先進的技術、廣泛的過程控制能力和生產自動化特性使其成為工業生產的理想選擇,特別是對於緊密、高精度的介電隔離特性。