二手 SEZ / LAM RESEARCH 300 #9211251 待售

SEZ/LAM RESEARCH 300是一款頂級、不折不扣的幹蝕刻機（又稱asher）。它專為精密和速度而設計，能夠在各種基板上進行高精度、快速的金屬蝕刻和絕緣材料。此頂級型號專為大多數金屬和絕緣材料的全晶圓尺寸（最大12英寸）的高通量處理而設計。該系統是為過程的一致性和可重復性而設計的。SEZ 300附帶了一個帶有實時流程參數監控的高級控制控制臺。它還具有各種自動化和記錄功能選項,有助於進行時間比較。它還允許用戶設計自己的配方，申請自己的蝕刻工藝。SEZ/LAMLAM RESEARCH 300的核心是其密封的、螺距設置的外部塗層-矽膠、塑料和陶瓷的先進組合,旨在使設備不受灰塵和汙染物的侵蝕,並增強其防腐裝甲,以保護內部部件免受腐蝕威脅。該蝕刻器具有從小等離子體源到工藝區域的優化過渡的等離子體腔，最大限度地提高了蝕刻效率和效率。300還配有帶真空互鎖安全門的冷壁壁管基板裝載系統，以及封閉的低顆粒加工環境。根據客戶的需要，該工藝室采用人體工程學設計，以適應各種蝕刻速率和壓力水平。它設計用於單晶片和批量基板。腔室是超活動的，可以在幾秒鐘內裝卸，以提高吞吐量和可重復性。作為蝕刻器，SEZ/LAM RESEARCH 300提供階梯蝕刻和反應性離子蝕刻等策略。作為其蝕刻功能的補充,SEZ 300還提供其他服務,如分層、平面化、填充和背包。LAM RESEARCH 300還具有多種工藝參數,可調節沈積、應力、速率、溫度和表面粗糙度,以達到不同材料的最佳條件。總之,300是一種頂級的蝕刻器/asher,專為高吞吐量處理而設計,且停機時間最短。它是一種可靠、精確、可重復的工具，設計用於快速、準確地在各種基板上對大多數金屬和絕緣材料進行精密蝕刻。它的高級功能、自動化功能和人體工程學設計使其成為要求最苛刻的應用程序的完美工具。