二手 SEZ / LAM RESEARCH 304 #293622221 待售

SEZ/LAM RESEARCH 304是一種批量式的精密濕蝕刻和灰化設備。它旨在為各種基材、半導體晶片、金屬和其他材料的精密蝕刻提供快速、安全、準確的配方組合。SEZ 304配備了一個三線平臺，最多可容納四個大幅面基板（典型的6「和8」基板），最多可容納四個機架的基板更廣泛的格式（10「和12」）。該平臺具有廣泛的加工室大小和蝕刻速率,允許處理時間和蝕刻速率的完全可變性。LAM RESEARCH 304還提供了廣泛的可編程食譜，用於蝕刻和灰化率，允許可重現和可靠的批次。304有內置氣體面板，允許對工藝室的大氣進行完全控制。此外，SEZ/LAM RESEARCH 304還采用了集成的就地清潔系統，以方便快速高效地清潔蝕刻/灰燼室和工藝管線。SEZ 304的控制單元提供了全面的流程自動化解決方案，並允許用戶編程和控制各種流程參數。LAM RESEARCH 304直觀且用戶友好的圖形界面使操作員能夠快速輕松地編程和監視蝕刻/灰燼過程,並允許即時故障排除和監控。304還具有廣泛的安全特性，包括兩個級別的真空互鎖以確保安全運行，一個壓力監控器以監測腔室壓力，一個溫度監控器以確保適當的基板加熱和冷卻，以及一個過程監控器以確保適當的蝕刻速率和過程時間。SEZ/LAM RESEARCH 304還有多種用戶可選的報警設置，允許操作員根據自己特定的流程需求量身定制報警設置。此外，SEZ 304采用無石英蝕刻工藝，消除了將金屬元素引入蝕刻室，從而減少了汙染或損壞基材的風險。綜上所述，LAM RESEARCH 304是一種可靠、用途廣泛的精密濕蝕刻和灰化機，為用戶提供精密蝕刻和灰化率以及全面的工藝自動化解決方案。304提供了廣泛的工藝室尺寸和蝕刻速率、直觀的圖形用戶界面以及內置的安全功能,以確保安全操作和過程完整性。憑借強大的性能和可靠性，SEZ/LAM RESEARCH 304適用於工業研究、生產和教育應用。