二手 SEZ / LAM RESEARCH 304 #293652616 待售

SEZ/LAM RESEARCH 304是一種等離子體蝕刻/灰化設備，用於以高通量率生產高質量的圖樣微結構。它能夠蝕刻矽、玻璃、金屬和氮化物等各種材料中的基材，在微電子工業中有廣泛的應用。它的特性和能力為產品的制造提供了最高質量和可重復的結果。SEZ 304具有自動化的機器人系統,可方便地處理基板。此自動化過程允許優化曝光時間,從而產生可重復、準確的蝕刻結果。該單元還提供了高度的精確度和控制，具有控制蝕刻速率的能力，同時在整個基板上提供均勻性。機器還能夠產生沒有任何工件或徑流效果的模式。該工具還配備了先進的等離子體源，提供了高水平的性能和準確性。這種先進的源產生高密度的等離子體，然後通過蝕刻室被引導到基板上。這種高密度的等離子體導致優化蝕刻速率，從而轉化為更高質量的蝕刻結構。LAM RESEARCH 304還設有一個多區域加工室，可連續蝕刻各種材料中的多種基材。此資產允許控制蝕刻過程參數。該模型還具有用於控制蝕刻速率的先進氣體輸送設備，並具有處理各種蝕刻化學物質的能力。304還配備了高級診斷程序,包括集成的邊緣成像剖面儀,可提供圖案化蝕刻剖面邊緣的亞微米分辨率成像。該系統還提供現場監測，以便優化過程參數，確保最高質量的結果。SEZ/LAM RESEARCH 304提供了生產高吞吐量的高質量和可重復蝕刻微結構的能力,從而提高了生產吞吐量,並最終提高了生產線的效率。它的特性和能力為產品的制造提供了最高質量和可重復的結果。