二手 SEZ / LAM RESEARCH 304 #9224043 待售

SEZ/LAM RESEARCH 304是一款適合高性能半導體加工的asher/etcher設備。它具有先進的LAMPAR™技術,可提供高水平的性能、工作效率、保真度和統一性。SEZ 304集成了利用特定於LAM的等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）和蝕刻技術的蝕刻、沈積和抗蝕/介電剝離工藝。該系統有一個17英寸的拋出感光器和一個手動調節石英梯子。它還有一個上層真空單元，能夠實現精確和可重復的蝕刻過程。此外,LAM RESEARCH 304還提供精確的基於時間的過程控制機器,可重復性為± 0.001 °C/min。這對於關鍵蝕刻應用程序至關重要,以確保產品質量和可靠性。304包括一個高溫均勻性包,可提供對本地和全球溫度概況的精確控制。此功能在基板上形成均勻、均勻的厚度和均勻性,從而提高設備性能。SEZ/LAM RESEARCH 304還配備了先進的LAMResearch™過程中心，用於完整的過程控制和數據記錄。這允許用戶監控腔室條件，以最大限度地提高刀具性能，最大限度地提高制造產量，並改善工藝控制。SEZ 304利用先進的LAMPAR™技術提供了超高分辨率的輪廓和均勻性的蝕刻工藝。這提供了最佳的基材蝕刻質量和重現蝕刻結果。此外,LAM RESEARCH 304還采用了一種專有的特定於LAM的工藝,由最先進的PLC控制器驅動。該資產能夠檢測和防止電弧事件,最大程度地減少漂移的可能性,並且隨時間推移保持高度穩定。LAM 304在半導體工業中有成功的蝕刻應用經驗，非常適合批量生產和研發。此外，SEZ/LAM RESEARCH 304易於操作和調整，並且可以與各種化學品和基材配合使用。其先進的LAMPAR™技術、先進的工藝中心和高溫均勻封裝使SEZ 304成為半導體制造的理想工具。