二手 SEZ / LAM RESEARCH 304 #9224044 待售

SEZ/LAM RESEARCH 304是一種用於半導體加工的蝕刻器/asher。這是一個加速的物理蝕刻過程，它使用一個銅/氙/氧氣（CuBeO）源在廣泛的材料上獲取高速率、精確和均勻的薄膜蝕刻。該蝕刻器/asher提供了多用途的加工功能,可滿足不同的蝕刻要求,包括濕蝕刻、幹蝕刻和濕幹蝕刻。SEZ 304的首要操作是為半導體晶圓提供高速率蝕刻工藝。該裝置具有兩個獨立的腔室，可同時蝕刻最多兩個工件。它采用雙變頻射頻發電機設計，使其能夠產生多個頻率，低至100kHz，高至10MHz。頻率調整允許精確的蝕刻控制和均勻的薄膜蝕刻。該過程通過一個計算機化的控制系統啟動，該系統提供了一套綜合的可編程參數，用於控制蝕刻模式、蝕刻速率和蝕刻深度。這些參數易於調節,可以高效蝕刻。蝕刻器/asher還具有安全互鎖功能,可防止未經授權的人員進入工作板區域。這一額外的安全措施有助於防止事故發生，並確保安全處理半導體晶片。LAM RESEARCH 304經濟實惠，為多種材料提供統一的蝕刻能力。蝕刻器/asher提供了靈活性和可擴展性,非常適合各種應用程序。它還具有一個可以使用水冷系統快速冷卻的蝕刻室。這樣可以提高工藝穩定性,並有助於實現一致的蝕刻結果。總體而言，304是專門為半導體加工而設計的蝕刻器/asher。它具有精確蝕刻的可調參數、安全互鎖、雙頻射頻發生器、快速冷卻機制和應用的可擴展性。它具有經濟高效的設計和統一的蝕刻能力，非常適合為半導體晶片提供可靠、經濟高效的蝕刻工藝。