二手 SEZ / LAM RESEARCH 305 #293652618 待售

SEZ / LAM RESEARCH 305
ID: 293652618
晶圓大小: 8"-12"
優質的: 2006
Spin processor, 8"-12" Chamber 2006 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH 305是一種高精度的蝕刻器,或asher,設計用於制造薄膜結構。這種裝置具有大功率氟化氫氣源,可用於濕式各向同性蝕刻。它還配備了一個泵系統,允許快速反應室疏散,從而實現金屬和有機電介質的精確和快速蝕刻。SEZ/LAM可以蝕刻到0.5微米大小的結構。這使得它非常適合在電子設備上創建納米終端或其他高分辨率電路。Asher還允許選擇性蝕刻,這意味著它可以比其他材料更緩慢地蝕刻某些材料。例如氧化矽可以每分鐘1微米的速率蝕刻,而其他材料則可以每分鐘10微米的速度蝕刻。這有助於確保復雜結構的精確制造。LAM RESEARCHY/LAM非常方便用戶。它具有直觀的觸摸屏界面,允許用戶輕松調整蝕刻時間和參數。與較舊、較複雜的蝕刻器相比,SEZ/LAM RESEARCH/LAM的人性化操作是一個明顯的改進。該設備還包括一個可編程的機器人裝載機,一次最多可容納五個底物。這樣可以輕松地並行執行多個過程,並節省時間和金錢。在安全性方面,SEZ 305極為可靠。它具有三重閥門系統,以防止加工化學品遠離環境。此外,它還使用一個循環泵來保持恒定的流量.這將有害化學品的積累降到最低。總而言之,LAM RESEARCH 305是制作薄膜的絕佳蝕刻器。它結合了高精度、用戶友好的操作以及增強的安全性,使其成為各種工業和研究應用的理想選擇。
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