二手 SEZ / LAM RESEARCH 323 #293632547 待售
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單擊可縮放
ID: 293632547
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Spin processor, 12"
Controller
Carrier station block, (4) FOUP
Process block
AC Power box
(2) Etchers
CDU
Temperature Control Unit (TCU)
Solvent supply system: (2) Tank auto supply systems with CSS
Direct drain
Heater tank
(4) SLQ-QT500 Flow meters
2004 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH 323是一種蝕刻和灰化工具，能夠對復合材料層進行高質量的選擇性蝕刻和灰化。該工具產生了非常精確和可重復的結果，允許通過化學蝕刻和等離子體灰化選擇性去除復雜層中的不同材料。SEZ 323具有緊湊、堅固的設計,適合空間有限的應用。蝕刻和灰化過程可以使用各種氣體完成，包括氧氣、氙氣、六氟化硫和氨。通過使用壓力和流量控制器以及先進的真空系統來控制這些氣體。該工具還允許用戶在一系列蝕刻和灰化參數之間進行選擇,例如溫度、壓力和功率。LAM RESEARCH 323旨在實現高精度蝕刻和灰化工藝。數字過程程序使用戶能夠根據自己想要的結果設置蝕刻和灰化過程，而計算機觸摸屏和圖形用戶界面則提供了直觀的操作方法。刀具還包括內置的保護措施,如果超出了預設參數,這些保護措施將自動關閉機器。這款蝕刻器/asher還具有4英寸的工作區，適合小規模項目。該腔室由堅固的鋼制成，以提高可靠性和性能。323還設有集成冷卻系統，利用周圍環境對電子組件和反應室進行冷卻。SEZ/LAM RESEARCH 323蝕刻和灰化工具為選擇性去除材料提供了一種耐用且高精度的解決方案。它是很多行業的絕佳選擇，比如半導體和陶瓷行業，生產成品需要高質量的成果。
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