二手 SEZ / LAM RESEARCH 323 #9224055 待售

SEZ/LAM RESEARCH 323是一款非常出色的蝕刻器/asher,專門設計用於各種生產應用。該型號配備了高級層傳輸系統，為高級處理提供高精度。它設計用於通過聚合物薄膜、抗蝕劑和其他材料層直接蝕刻高長寬比的等離子體。SEZ 323采用極其嚴格的規格,當與兼容的夾具和支架配合使用時,能夠實現從0.1微米到100微米的輪廓精度。LAM RESEARCH 323提供了一個全自動的過程，帶有一個大晶片卡盤，最多可容納8英寸晶片。晶片卡盤裝有RF驅動的z級、機械側級、屏蔽架和兩個升降銷。機械側級便於單層或薄層傳遞，而屏蔽架提供均勻的等離子體能量分布。提升銷系統精確地對準基板,消除了敏感材料的窗口移動.323具有先進的氣體輔助蝕刻系統,無需人工幹預並減少汙染。高效的過程利用等離子體分解聚合物鍵層，並將其分散在大氣中，以便快速和容易地去除模式。在核蝕刻過程中，工藝室保持一種控制氣氛，產生極好的微細層蝕刻。SEZ/LAM RESEARCH 323有一個直觀的用戶界面，允許操作員根據過程速度、腔室真空和蝕刻速率配置機器。此外，實時壓力和氣流監測允許操作員根據特定基板或圖樣設計的需要調整條件。蝕刻器/asher還具有減小的足跡和緩沖室大小，使其易於並入空間受限系統。SEZ 323 蝕刻器/asher是各種生產應用的絕佳選擇，為運營商提供無與倫比的性能和可靠性。它的高級功能允許密集的定制級別,使用戶能夠根據其特定的流程要求定制計算機。LAM RESEARCH 323具有可靠的操作和精確的層移，是大批量生產、原型生產和研究的重要工具。