二手 SEZ / LAM RESEARCH Chambers for SP 323 #293653786 待售

SEZ/LAM RESEARCH Chambers for SP 323是為半導體工程應用而設計的先進蝕刻/灰化設備。它能夠增強表面蝕刻和各種材料（包括各種金屬和玻璃）的精確化學粉刷。該系統的一套反應性氣體混合器和閥門使等離子體處理大氣能夠快速準確地輸送。它的自動過程控制軟件使整個單元能夠從用戶自己的PC計算機操作。SP 323的SEZ Chambers由三個基本元素組成-不銹鋼真空室、機器人樣品處理機和專用等離子體源。位於工具底部的真空室設計用於處理各種尺寸的晶片（最多8英寸圓或正方形）。它由橢圓工藝室、機器人臂、加熱器和靜電屏蔽裝置構成。機器人臂可以在資產內快速、精確和可重復地加載和定位樣品。加熱器用於在模型的所有表面保持均勻的溫度。靜電屏蔽設計用於減少蝕刻/灰化過程中產生的粒子。SEZ Chambers的專用等離子體源增強了表面蝕刻工藝，並提供了多種材料的精確化學粉刷。利用異步脈沖射頻發生器在兩個電極之間產生強射頻（RF）場。這個射頻場可以用7.5MHz到13MHz的頻率控制，或者可以手動調整沈積頻率以適應基板的特定要求。而且，頻率可以根據工藝室壓力對齊，以確保最佳工藝結果。這套反應性氣體混合器和閥門能夠快速產生和輸送蝕刻/灰燼工藝所需的精確等離子體處理氣氛。設備可配備氧氣、氮氣、氙氣、氦氣、F2、NF3、SF6和CF4等多種氣體，各種加工任務的輸送比範圍廣泛。該系統還設有一個有效的緊急清洗單位，以確保用戶及其樣品的安全。最後,LAM RESEARCH Chambers for SP 323有一個直觀的、基於圖形的自動過程控制軟件.它用於定義和運行蝕刻/灰化過程的所有方面,從設置配方到控制每個進程步驟的運行時。該控制機為每個過程步驟提供可靠的過程安全性和可重復性。最後，SP 323的Chambers提供了卓越的蝕刻/灰化能力，完全自動化，並提供可靠的過程安全和可重復性。它具有先進的特性和功能,是半導體工程應用的理想工具。