二手 SEZ / LAM RESEARCH DaVinci DV Prime #9045178 待售
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ID: 9045178
Wet bench, 12"
(8) Chamber main frame, front side and backside processing
Ionization system
Filter fan unit
ISO Class 2
FM 4910 Materials
(4) Load ports
Protocol zone separation
Double side option for (2) chambers
(2) Double side DS chucks
Medium on top level double side
GEM Automation software
SMI S2 & S8 Standard
Flow monitoring and flow control
ECO End effector set
E 84 Parallel I/O
A-Jet option with DI for (2) chambers, internal supply
CO2 Enriched DI water for (2) process chambers
ASD 3: Dry option for spacer etch back for (2) chambers.
SEZ/LAM RESEARCH DaVinci DV Prime是一款精密蝕刻和灰化機,設計用於半導體、MEMS和醫療器械行業的高端切削、燒蝕和微加工應用。SEZ達芬奇DV Prime具有極高的精確度、較高的吞吐量和較低的缺陷率,正迅速成為尋求突破先進蝕刻和灰化工藝界限的人們的首選。該機具有高分辨率的3axis運動控制設備,無論任何材料的初始特性如何,都可以對其進行精確和可重復的加工加工。達芬奇集成的內置光學成像系統實現了精確的過程監控,使用戶可以輕松優化過程參數,從而生產出精確且無缺陷的零件。此外,蝕刻和灰化過程可以完全自動化,並具有用於高級監控的專有界面。機器的集成軟件還包括一些附加的與流程相關的功能,例如用於復雜幾何的自動註冊系統、高級邊緣識別單元以及用於重新定義現有流程的精確模式匹配功能。這使用戶能夠最大程度地提高流程靈活性和可重復性。該機還配備了自動化裝卸機,以最大限度地提高效率。自動加載器允許用戶加載大批量零件,卸載工具可以根據零件的蝕刻和灰度參數快速排序零件。這樣可以確保最終產品達到最高質量,並消除缺陷。LAM RESEARCH DaVinci DV Prime是一款用途廣泛且可靠的工具,旨在滿足甚至最嚴格的要求。它的一整套功能使用戶能夠以無與倫比的可靠性和效率,為蝕刻和灰度精度和吞吐量設定新的標準。該機器設計為在要求最苛刻的環境中工作,非常適合任何需要高精度蝕刻和灰化的應用。
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