二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 BF #9389718 待售
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ID: 9389718
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Single wafer etcher, 12"
Air valve missing
Loadport
Chamber
Robot
Controller
2005 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV-34 BF是一種強大、高精度、反應性離子蝕刻（RIE）的灰化器。它旨在達到最高的效率和可靠性水平，以滿足嚴格的工業標準。該設備結合了卓越的技術和特點以及卓越的功耗和精確度,大大提高了蝕刻工藝的生產率。SEZ DV-34 BF能夠處理各種材料，包括矽、二氧化矽和石英。該系統采用創新的雙波束輸送裝置，能夠實現精確控制，並具有最佳性能和可重復性。這意味著組件接收均勻間隔和校準的能量脈沖,從而確保每個工件的精確蝕刻,從而提高過程的可重復性和穩定性。該機還提供從微光刻到高級蝕刻等多種蝕刻技術，使其成為滿足各種蝕刻需求的完美解決方案。該工具最多支持四個不同的光束,並且具有單個端口處理,整個過程周期時間僅為19分鐘。它還提供高達250瓦的多種功率級別,使用戶能夠實現業界最高的蝕刻速率。該資產的其他特點包括具有95 nm分辨率掃描儀的超高分辨率數字成像模型和允許對各種材料進行安全的低溫蝕刻的低溫蝕刻模式。鏈載荷生產率功能進一步提高了流程的準確性和吞吐量,使一次可以同步處理多個工件。LAM RESEARCH DV-34BF通過其內置的層層深溝蝕刻工具和通過測量樣品蝕刻厚度來調整蝕刻深度的AutoTune功能,實現了最高精度的蝕刻結果。這樣可以確保蝕刻過程的準確性、均勻性和可重復性。該設備還具有強大的數據處理處理器來控制蝕刻參數，以便針對用戶的特定應用進行優化。SEZ/LAM RESEARCH DV-34BF具有卓越的技術、直觀的用戶界面和強大的功能,是蝕刻任務的理想選擇。它非常適合高容量和復雜的蝕刻應用,使用戶能夠在使用多種材料的同時達到最高精度。
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