二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293652633 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV-34是一種先進的等離子體蝕刻器/灰化器,可有效、均勻地去除有機和無機材料。它是一種適用於各種應用的通用、經濟高效且可靠的蝕刻解決方案。蝕刻器獨特的設計讓使用者可以調整各種材料的蝕刻速率。該單元配備了一個7.6英寸寬的腔室，允許它同時蝕刻多塊。該單元還具有一個穿孔支架組件，提供統一蝕刻，而不需要額外的夾具。它的螺旋流動氣體輸送系統創造了一個連續的均勻流動所需蝕刻化學通過蝕刻室。無隔片設計消除了蝕刻室的潛在汙染源，允許操作高達10-4 torr。SEZ DV-34的設計考慮了用戶的安全,它包含兩個真空泵,這些真空泵可提高真空穩定性,同時允許用戶完全控制腔室的疏散並協助可重復的過程。另外，腔內的晶圓運動系統有助於防止過熱，這會傷害細膩的基板。晶圓運動系統消除了經常由溫度梯度引起的邊緣效應。此外，LAM RESEARCH DV-34配備了全面的觸摸屏界面，可以讓用戶輕松編程和監控蝕刻過程。在觸摸屏上編程過程簡單直觀，允許廣泛的自定義參數和可編程蝕刻配方。用戶可以從幾種可選的工藝配方中進行選擇，剪切蝕刻時間，消除邊緣效應。總體而言,DV-34是一種先進且可靠的蝕刻器/灰化器,可在多種材料上提供精密蝕刻。它具有多種用戶友好的功能,使其成為各種蝕刻應用程序的理想解決方案。