二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293754180 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV-34是一種最先進的蝕刻器/asher,可用於生產高性能、先進的材料。它旨在為有機和金屬材料的加工提供最大的靈活性和性能。SEZ DV-34 蝕刻器/asher由高電阻石英管和爐、自動化氣體輸送設備以及精密控制的蝕刻/灰燼系統構成。石英管和熔爐采用優異的隔熱結構，以提高效率和工藝可重復性，而自動氣體輸送裝置在所需的比率和流量中提供多達10種不同的工藝氣體。蝕刻/灰分機通過使用可編程的電容耦合瞬時提供精細的控制。這樣可以確保蝕刻/灰分過程非常精確且可重復。LAM RESEARCH DV-34還具有高壓反應性離子蝕刻（RIE）功能,使生產商能夠高精度地通過較厚、較硬的材料進行蝕刻。在生產具有精細N形狀、薄壁或其他詳細特征的元件時,此功能非常方便。RIE還允許蝕刻氮化物、多晶矽和非晶矽等材料。DV-34蝕刻器/灰化器還帶有反應性氣體活化，這有助於提高蝕刻的工藝速率和均勻性。這項技術還有助於減少表面粗糙度和蝕刻過程產生的廢物量。此外，SEZ/LAM RESEARCH DV-34還配備了一些先進的監測和診斷工具。這些包括視聽顯示器、溫度控制、尺寸輪廓能力以及工藝參數趨勢監測，以確保最佳蝕刻/灰分工藝的可重復性和產量。這種蝕刻器/asher非常適合商業生產和研發實驗室使用。它非常適合以多種格式加工先進材料，包括基材、晶片和面板。經濟特區DV-34是真正的金標蝕刻和灰化工藝.