二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293754182 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV-34是一種蝕刻器/asher,專為需要在大面積上進行精密蝕刻的工藝而設計。它特別專為半導體晶圓、金屬和玻璃蝕刻應用而設計，有助於加快工藝時間，同時確保嚴格的公差精度。它通過獨特的設計得以實現，其中包括多個工藝模塊，每個模塊都有一個用於工藝漿液或有機/水化學的「環」供應設備。這有助於在正在加工的晶片或其他材料的整個區域以穩定和統一的方式輸送化學物質。由於其環形供應系統，SEZ DV-34可以比傳統系統實現高達40%的處理時間。它還確保了緊密的過程控制和可重復性，這對於高質量的微加工是至關重要的。由於它可以處理大面積的蝕刻，因此能夠優化整個基板表面均勻性的材料蝕刻。此外,該單元還包括自動端點檢測功能,使其能夠在整個過程中準確監控蝕刻進度。該機器包括自動化功能，如調節排氣和可更換氣體管線的能力，所有這些都使它能夠主動優化蝕刻輪廓。該工具在整個過程中確保了一致的漿液，同時最大限度地減少了矽酸鹽沈積和其他參數的可變性。它還有助於最大限度地減少由於其排氣過濾器資產和閉環環境造成的汙染。總體而言,LAM RESEARCH DV-34是一種多功能的蝕刻器/asher,專門設計用於在大型基材區域實現最高質量的蝕刻工藝。對於需要嚴格公差精度和可重復性的微細加工來說，它是一個理想的選擇，因為它可以在整個基板上提供均勻和優化的蝕刻。該模型利用了復雜的組件，有助於確保整個過程的可靠和一致的性能。因此，它是一個有效的選擇蝕刻過程需要精確的結果與緊密的過程控制。