二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293754183 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV-34 蝕刻器/aser是一種功能強大、可靠且經濟高效的幹式蝕刻設備,設計用於體積和PML清潔生產應用。該系統通過優化等離子體均勻性，提供了卓越的蝕刻質量和均勻性。它在所有蝕刻步驟中都表現出色，也適用於氧化物、氮化物、聚酰亞胺和金屬，包括鎢和鋁。通用的工具集還允許蝕刻精確的地形特征,如字符串、插槽和柱子。這種先進的幹蝕刻器能夠在0-750攝氏度的溫度範圍內工作，並具有多種蝕刻化學物質，包括氧氣、氯氣、氟矽烷和四氟化碳。該單元還具備可定制的自上而下和自下而上的等離子體控制的大功率RF，根據需要進行蝕刻修改，並配備易於使用的遠程操作控制臺，用於等離子體均勻性控制。通過可選的密封石英單晶片存在傳感器和自動排氣,提高了成本和運行效率,以保持一致的蝕刻室性能。SEZ DV-34蝕刻器采用了大量硬件冗余功能,可實現最大的正常運行時間和最高的可靠性,而且維護最少。3G/4G/5G Plasmalab腔室設計用於在單個負載下清潔數十個晶片，能夠提供出色的temerature均勻性。它與堅固和精致的PECVD薄膜兼容,並提供可選的BPSG層間支持。它也有一個集成的熱/地圖烘烤階段，具有用於過程增強和溫度均勻性控制的超平熱板。該蝕刻器旨在遵守嚴格的出口管制規定，並包括多種工藝驗證選項，以確保準確性和可重復性。它還配備了一個創新的晶圓跟蹤機器，用戶可以快速找到他們的晶圓快速檢索。整個單元進行高周期到周期的穩定性測試，以增加過程控制。LAM RESEARCH DV-34是一款功能強大的幹式蝕刻機,是滿足苛刻蝕刻和清潔生產風險的理想解決方案。它堅固、經濟高效,具有高等離子體均勻性、出色的蝕刻質量和均勻性,以及廣泛的硬件冗余功能,可確保正常運行時間和可靠性。它還被設計為遵守出口法規，並配備了創新的晶圓跟蹤工具。