二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293754186 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV-34是一種蝕刻器/asher，用於半導體應用。它是一個完全集成的自動化解決方案,適用於各種過程,包括蝕刻、灰化和清潔濺射蝕刻。該設備采用經過驗證的100%單面和雙面精密蝕刻/灰化技術,具有高度可靠的硬件和軟件平臺。SEZ DV-34配備1000 W電子束光源，能夠進行單面和雙面蝕刻/灰化。該系統提供的熱退火能力使其適用於矽基材料。該設備的設計和高吞吐量使其非常適合半導體行業內先進的大批量制造和應用。此外，該機還配備了精確控制工具，可精確控制工藝參數。資產的智能監控能力使其能夠在蝕刻/灰化之前檢測基板中的缺陷，從而節省時間和金錢。該過程可以根據用戶的需要進行定制,並具有調整蝕刻參數以實現更精確控制的選項。還包括交互式流程控制軟件，實時提供詳細流程信息。軟件創建自動工具包布局,以便用戶能夠確保針對所需的應用程序優化蝕刻/灰化過程。軟件的數據分析功能使用戶能夠分析流程數據,並確保針對所需的應用程序優化流程。該模型還具有雙室設計，允許同時進行多次蝕刻過程操作。這消除了對多個獨立系統的需求，使其特別適合大型生產運行。雙腔室設計最大限度地提高了蝕刻均勻性，確保了基板之間的差異最小。該設備設計符合SEMI標準200，並具有廣泛的prober兼容夾具，使其與廣泛的客戶設備兼容。該系統還提供廣泛的終身保修,確保支持和安心。最後,LAM RESEARCH DV-34 蝕刻器/asher是一個先進的、完全集成的單元,它提供精密蝕刻/灰化操作,對環境的影響最小。該機配備了強大的電子束源、精確的控制功能和實時的數據分析能力，適合大規模、復雜的應用。該工具的雙腔室設計、與prober兼容的夾具和終生保修使其成為各種蝕刻/灰化過程的可靠解決方案。