二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293758354 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV-34是一種創新的蝕刻和灰化設備,可為與半導體制造相關的各種處理步驟提供精確、可重復的結果。系統的腔室為緊湊、圓柱形設計，高1.2米，直徑40厘米。它專為處理小批量而量身定制，非常適合原型開發和研究實驗室。也有能力處理大批量的生產工作。SEZ DV-34具有壓力、溫度和氣體控制功能,可對多種材料進行精密蝕刻和灰化,包括矽、砷化氙、氮化氙和鋁。單元內的壓力容易控制，範圍為5至20托，變化極限為0.02托。該機還具有反應堆傾斜角度調節功能，允許用戶精確控制蝕刻速率，以及完全集成的門閥進行配方匹配。該工具進一步支持多種氣源，包括氙氣、氧氣、CF4/CHF3、NF3和Cl2。它有一條線路氣體流量監測儀，用於入口（I型）和出口（F型）的氣體監測。它還具有一系列傳感器，包括載流子質量流量監測儀/儀表、閘閥壓力監測儀和加熱器組件中的壓力調節控制測量。LAM RESEARCH DV-34的過程控制軟件直觀、用戶友好，配有用於管理其他配方的配方庫。它具有數據記錄資產,能夠存儲多達200個配方和多達2,000個數據點。它能夠同時實時監控多達20個參數。強大的軟件進一步允許有效的模型監控、校準和過程控制。總體而言,DV-34是一種功能強大、精確且可靠的蝕刻和灰化設備,它提供了一系列功能強大的功能,可幫助用戶從系統中獲得最大收益。它非常適合研究實驗室、開發實驗室和大批量生產。