二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9211222 待售

SEZ PV-34是一種用於各種先進半導體制造應用的蝕刻器/asher。該設備采用先進水平的等離子體蝕刻和液-等離子體灰化相結合的方法，以準確有效地蝕刻/灰分各種類型的半導體材料。該PV-34具有優異的蝕刻性能,能夠非常嚴格地控制基板上電路甲板的尺寸、形狀和鈍化。該PV-34具有獨特的設計，允許對蝕刻工藝進行實時的自適應調整，同時考慮到壓力、溫度和氣體混合物等工藝變量。這樣可以嚴格控制復雜形狀的蝕刻形狀和輪廓,同時提供出色的均勻性,減少處理時間,並保持嚴格的表面質量和可重復性。該系統充分結合了現有的最先進的等離子體和液體蝕刻技術，並包括大範圍的進氣速率，以控制等離子體密度和均勻性。此外，該單元還配備了精確的溫度、壓力和電源設置，以及一套控制軟件，使蝕刻過程適應具體任務。該PV-34還配備了一系列有助於機器運行和維護的功能，如警告和報警消息、完整的數據存儲、一個可以讓晶片快速進出工具的卷筒以及一個實時記錄資產。此外,該模型還通過其直觀的用戶界面和靈活的配方構建工具,確保以自動化的方式執行完整的流程。該工具允許創建配方（從簡單蝕刻到復雜模式）,以便重復使用,從而提高效率。這些特點,加上能夠精確蝕刻和粉刷各種半導體材料,使PV-34成為滿足先進半導體制造需求的經濟高效且可靠的選擇。