二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9224050 待售

SEZ / LAM RESEARCH DV-34
ID: 9224050
晶圓大小: 12"
Single wafer etcher, 12" (4) Chambers.
SEZ/LAM RESEARCH DV-34是由SEZ為滿足半導體行業的高需求而設計制造的先進蝕刻器和asher。它是一個蝕刻/灰分平臺,支持多個流程模塊,使用戶能夠將技術與應用程序需求相結合。工藝模塊包括深矽蝕刻、矽選擇性蝕刻、SiGe選擇性蝕刻、濺射、擴散、氧化物蝕刻和金屬蝕刻。SEZ DV-34是一種智能工具,具有最先進的過程控制技術,包括運動控制、過程分析技術和過程自動化。它包含通用平臺、用於診斷的網絡連接、可編程過程參數設置點、可定制的配方以及溫度控制的硬件組件,以確保準確和可重復的材料處理。LAM RESEARCH DV-34具有雙室設計,允許用戶配置工具以滿足其特定的產品制造需求。進階的數位真空控制(DVC),是用者能夠精確控制腔室壓力、溫度、製程時間等參數的技術。DV-34的功能還包括集成晶圓處理,允許最大程度的靈活性。LAM RESEARCH/LAM SEZ/LAM RESEARCH DV-34非常適合在高通量環境中使用,提供更快的周期時間和更高的收益率。其廣泛的工藝能力使其對從研發到生產的廣泛用戶具有吸引力。SEZ DV-34是IC和MEMS制造商的完美解決方案。它是一個功能強大的蝕刻/灰燼平臺,旨在為用戶提供最大的靈活性和過程控制。其先進的特性、可靠的工藝結果和可靠的設計提供了以最高產量和最高精度交付產品所需的可靠性能。
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