二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9267768 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV-34是一種精密的粉碎器/蝕刻器,旨在使用自動化的兩溫輸送設備快速可靠地處理基板。該設備的全面設計為應用提供了標準性能,包括但不限於,通過蝕刻、TMR通過蝕刻、雙大馬士革、柵極蝕刻、硬掩模蝕刻、層間介電去除、晶圓背面蝕刻和各向同性蝕刻。該機組采用雙溫輸送系統，提高了加工可靠性和吞吐量。兩種溫度流可獨立編程,以實現理想的蝕刻或清潔配方。這是通過使用一個獨特的熱交換器來完成的，上層和下層都是這樣。SEZ DV-34 蝕刻/asher單元還包括洪水冷卻機。冷卻工具旨在以更快的速度均勻冷卻基板表面。這樣可以實現更高精度的蝕刻和清潔配方,以及提高產量。LAM RESEARCH DV-34配備了工藝氣體管理資產。該模型允許精確調節工藝氣體，如氧氣、氯氣和其他腐蝕性氣體。此設備有助於簡化配方,並提供更好的工藝純度和控制。該系統的腔室改造既快又容易，因為熱墻設計允許快速改造而不犧牲腔室的完整性。DV-34的這一特點還減少了改造費用。該領域的工藝技術人員也很容易用該腔室進行等離子診斷和工藝開發。此外,SEZ/LAM RESEARCH DV-34由一系列集成控制器和接口提供支持。這包括全方位的控制選項，包括用戶友好的圖形用戶界面、配方編輯器和高級統計過程控制功能。這些功能有助於提高產量和簡化流程,旨在提高流程穩定性以提高刀具生產率。最後，這一單元通過選擇工藝沖洗和清洗配方，實現了良好的長期過程穩定性。清洗配方有助於減少汙染，提高蝕刻工藝的效率。這為操作員提供了額外的保證，即蝕刻工藝按照設計工作。總之,經濟特區DV-34是一種通用、高效、可靠的蝕刻機.其雙溫輸送和水冷系統保證了基板的均勻性和準確性.此外，其智能軟件和強大的過程氣體管理確保了良好的長期過程穩定性，以獲得最佳產量。