二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9351032 待售

SEZ / LAM RESEARCH DV-34
ID: 9351032
晶圓大小: 12"
Single wafer processor, 12".
SEZ/LAM RESEARCH DV-34是一種為生產先進半導體器件而設計的蝕刻器。該設備具有強大的離子束沈積源和可編程的位置精度,以確保過程的一致性和均勻性。它還通過動態調整工藝參數來提供卓越的吞吐量、高密度的等離子體蝕刻和低粒子生成。SEZ DV-34是一個完全自動化的系統,它使用直流、射頻和熱過程來提供對潛在復雜圖樣的快速、高分辨率蝕刻。采用先進的光束聚焦沈積、高能離子束蝕刻和精確的位置控制,實現全晶圓均勻性。其獨特的體系結構具有集成的控制和自動化功能,可最大程度地減少停機時間,同時滿足生產需求。該單元還為半導體器件的生產提供了廣泛的功能和優勢。其現成的基材配方以最短的安裝時間提供可靠的蝕刻效果。它的模塊化設計允許跨多種材料靈活地開發和實施過程。它還提供了出色的均勻性和晶圓配準能力。該機也效率高、性價比高,使用的流利度比其他型號略高。最後,LAM RESEARCH DV-34旨在最大限度地提高工具的可用性和魯棒性,並具有行之有效的性能、縮短的停機時間和優化的生產效率。它還支持多種安全特性,包括針對電弧和放電電壓的防護以及內置的離子換算功能,以減少粒子產生。為了確保可靠和一致的生產性能,該資產還具有快速的故障檢測和恢復功能。
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