二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-38 DS #9240169 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV-38 DS蝕刻器是一種最先進的預混合低壓直接下遊等離子蝕刻設備。此蝕刻器專為需要超高蝕刻質量和均勻性的應用而設計。SEZ DV-38 DS是各種材料類型的理想蝕刻系統，包括復合半導體材料、氮化鈦、金剛石和氮化物硬面膜。該裝置采用了強大的下遊等離子體加工機，以確保卓越的蝕刻速率。LAM RESEARCH DV-38 DS工具使用感應耦合等離子體（ICP）源進行等離子體生成。這類等離子體源提供了卓越的重復性、長壽命和高水平的壓力控制。壓力可調節，以優化蝕刻速率和均勻性，同時最大限度地減少汙染或「記憶效應」。雙等離子體源配置進一步提高了性能，消除了對消耗品定期補充的需求。DV-38 DS配備了用於低壓控制的精密質量流量控制器和準確的工作氣體量。該資產還具有小噴嘴技術的可變氣體噴射，具有高度均勻的氣流和更精確的離子轟擊控制。這提供了更好的特征輪廓、更高的清晰度、改進的各向同性蝕刻速率和更好的選擇性。為了增強蝕刻均勻性和更高效的材料去除,SEZ/LAM RESEARCH DV-38 DS模型還具有「熱邊」特征。此功能有助於增強蝕刻均勻性,並使晶片邊緣的功率級別更加一致。SEZ DV-38 DS設備是為大批量生產而設計的，同時考慮到了徹底的過程控制。它具有全自動的裝卸站和高質量的真空系統，以確保恒定、清潔的條件。計算機控制的界面允許從單個位置訪問所有主要進程參數。此外,還可以對設備進行可選的軟件修改,以進一步提高蝕刻質量和可重復性。對於那些需要高精度結果的人來說，這種先進的蝕刻器是一種寶貴的資產。LAM RESEARCH DV-38 DS機器提供了卓越的蝕刻速率、均勻性和可重復性，使制造商和研究人員能夠放心地加工材料。