二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-38DS #9040754 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9040754
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Wet station, 12"
Frontside handling
(8) Chambers
Number of chemistry: 1
Operator cassette loading
Overhead transport system (OHT)
Through the wall
Front machine section:
Robot & controller
Main PC condition
Hard drive for IC/TC
Front FFU
Buffer station
(3) Load ports
Load port access: Light curtain
Asyst ISO port
Carrier ID reader
Asyst Advan-Tag
E 84 Parallel I/O
Front handling system: ECO end-effector, ceramic
Rear machine section:
ECO
FFU
Control cabinet
Left process section
(3) PSL: Process chamber, Chuck, Spindle unit, Dispenser motors
(1) PSL: Process chamber, Chuck, Spindle unit, Dispenser motors, Regulators, MFCs, Pump valve and chemistry lines
Right process section
(3) PSR: Process chamber, Chuck, Spindle unit, Dispenser motors
(1) PSR: Process chamber, Chuck, Spindle unit, Dispenser motors, Regulators, MFCs, Pump valve and chemistry lines
Components included
ATMI
AC Rack
DVR
Exhaust line kit
IPA module
Liquid Chemistry cabinet 1:
Media 1 supply: Filtration system and sampling port
Buffer option A1: Medium, PZ10 spiking pump
Buffer option B1: No medium
Paddle wheel
DI water
Inline cooler for temperature control
Flowmeter
Liquid Chemistry cabinet 2:
Media 2 supply: Medium / Temperature
Buffer option A2: Medium, PZ10 spiking pump
Buffer option B2: No medium
Paddle wheel
Horiba CM-210 chemical analyzer: (2) Process loop, (2) Preparation loop
Flowmeter for DI water
Gas supply
CO2 Injection: No
Overall features:
White light
Transparent windows
Transformer 208V/400V CE
Frame
Leak sensor box
Submodules:
Process chamber display
Digital video recording
Currently de-installed
2006 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV-38DS是一種蝕刻器/asher設備,專門設計用於蝕刻和研磨各種基材上的光致抗蝕劑和其他殘留物。SEZ DV-38DS系統提供快速、高精度的蝕刻和灰化,具有低溫過程和短處理時間。LAM RESEARCH DV-38DS單元使用化學反應離子等最新半導體技術進行蝕刻，並使用燈和激光源進行灰化。它能夠處理範圍廣泛的晶圓大小,從4「到12」。該機設計為為包括矽、氧化物、金屬、陶瓷在內的各種基板提供均勻、優質的覆蓋。DV-38DS工具由兩部分組成：工具本身和關聯的控制資產。該工具是一種小巧、全自動的模型，旨在便於使用和高效操作。它包括一個用於裝卸晶片的高性能進紙器、一個用於蝕刻光刻劑等殘留物的高性能蝕刻室以及一個用於熔合層的灰化室。蝕刻室和灰化室均配有先進的熱控制系統，以確保最佳處理效果和均勻覆蓋。該控制設備旨在為用戶提供對SEZ/LAM RESEARCH DV-38DS系統的精確控制。該單元配備了直觀的用戶界面，允許用戶在點擊幾下就對自己的進程進行更改。用戶界面使用戶能夠設置計算機並實時檢查刀具的狀態。此外,還可以將控制資產鏈接到遠程計算機,從而方便地遠程訪問模型的診斷數據。SEZ DV-38DS設備是為低容量和高容量操作而設計的。其先進的控制系統可以很容易地修改，以適應各種處理任務。此外，該機組還設計了各種安全功能，如緊急關閉，以確保其操作員和設備的安全。總體而言，LAM RESEARCH DV-38DS是一種先進的蝕刻機/asher機，專門設計用於蝕刻和研磨各種基材上的光致抗蝕劑和其他殘留物。其先進的控制工具允許精確的控制，直觀的用戶界面使其易於設置和操作。資產的安全特性保證其操作員和設備的安全，其高性能進紙器使晶片的有效裝卸成為DV-38DS各種蝕刻和灰化工藝的絕佳選擇。
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