二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-38DS #9054505 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV-38DS是一種雙波、高速、多室蝕刻器/asher,可提供卓越、經濟高效的蝕刻/灰化性能。SEZ DV-38DS系列被指定為先進的材料加工蝕刻器/收集器,非常適合生產和研發實驗室。LAM RESEARCH DV-38DS系列利用定向垂直和切向蝕刻/灰度波,在每批中提供高度統一的蝕刻/灰度操作過程。運動尖端熱管理和先進的冷卻技術在過程中最大的可重復性和均勻性。DV-38DS系列有兩種配置，具有一個或兩個腔室系統。它允許在每個腔室中獨立蝕刻/粉刷具有多種材料的零件，確保方便、連續的操作。高速操作和優化的腔室設計提高了工藝吞吐量，縮短了循環時間。SEZ/LAM RESEARCH DV-38DS具有高級控制,可對金屬、氧化物和聚合物等材料進行精確蝕刻/灰化。這包括控制溫度、氣體混合、壓力和腔室尺寸的能力，以達到最大精度和可重復性。經濟特區DV-38DS包括全面的過程監測系統，以確保一致的過程結果。LAM RESEARCH DV-38DS系列還包括用於高密度等離子體（HDP）蝕刻/灰化過程的射頻源。HDP蝕刻/灰化可實現高質量的表面飾面和高蝕刻/灰化率。DV-38DS系列還提供了在HDP過程中混合沈積氣體的能力，允許多組分沈積。SEZ/LAM RESEARCH DV-38DS系列設計為用戶友好,具有直觀的操作員界面,並以圖形方式顯示過程設置和結果,以便於監控。該系列還具有廣泛的診斷診斷功能,包括過程歷史記錄、報警和蝕刻/灰化配置文件。SEZ DV-38DS Etcher/Asher系列是高級蝕刻/灰化解決方案的終極產品。易於操作,LAM RESEARCH DV-38DS為生產和研發實驗室提供卓越的蝕刻/灰化性能。先進的控制和過程監控使其非常適合需要按需、可重復的準確性和可靠性的用戶。